Eskişehir Teknik Üniversitesi Eskişehir Teknik Üniversitesi
  • Kurumsal
  • Akademik Programlar
  • Öğrenci İçin Bilgi
  • English
Program Hakkında Eğitim Amaçları Program Yeterlilikleri (Çıktıları) Dersler - AKTS Kredileri Alan Yeterlilikleri Ders - Prog. Yeterlilik İlişkileri Alan & Prog. Yeterlilik İlişkileri Ders - Sürdürülebilir Kalkınma Amaçları İlişkisi
  • Fen Fakültesi
  • Nano Bilim Yandal Programı
  • Dersler - AKTS Kredileri
  • Mikro ve Nanofabrikasyon Temelleri
  • Tanıtım
  • Tanıtım
  • Öğrenme Çıktıları
  • Program Çıktılarına Katkısı
  • Öğrenme Çıktısının Program Çıktılarına Katkısı

Ders Bilgileri

Ders Kodu - Ders Adı NANO307 - Mikro ve Nanofabrikasyon Temelleri
Ders Türü Seçmeli Dersler
Ders Dili Türkçe
Teori + Uygulama 2+0
AKTS 3.0
Öğretim Elemanları DOKTOR ÖĞRETİM ÜYESİ BURCU ARPAPAY
Dersin Veriliş Biçimi Yüz yüze
Dersin Önkoşulları -
Önerilen Dersler -
Zorunlu ya da Önerilen Kaynaklar -
Okuma Listesi Sami Franssila, (2004), Introduction to Microfabrication, John Wiley&Sons;, Ltd; Andrew Sarangan, (2017), Nanofabrication Principles to Laboratory Practice, CRC Press Taylor&Francis; Group; Zheng Cui, (2017), Nanofabrication Principles, Capabilities and Limits, Springer
Değerlendirme Sınav, Ödev
Staj & Uygulama -
Sürdürülebilir Kalkınma Amaçları

Ders İçeriği

Haftalar Konular
1. hafta Mikro/Nanofabrikasyona giriş
2. hafta Temiz oda
3. hafta Aygıt üretimi için maske tasarımı
4. hafta Fotolitografi
5. hafta Fotolitografi basamakları
6. hafta Nanolitografi
7. hafta Nanolitografi
8. hafta Islak aşındırma
9. hafta Kuru aşındırma
10. hafta Fiziksel buhar biriktirme teknikleri
11. hafta Fiziksel buhar biriktirme teknikleri
12. hafta Kimyasal buhar biriktirme teknikleri
13. hafta Tel Bağlama
14. hafta Yarıiletken tabanlı aygıtların üretimi ve uygulamaları

Öğretim Yöntem ve Teknikleri

  • Öğretim Yöntemleri
  • Anlatım
  • Tartışma
  • Soru-Yanıt
  • Gösterme
  • Rapor Hazırlama ve/veya Sunma
  • Öğretim Yeterlilikleri
  • Sorgulayan
  • Eleştirel düşünebilme
  • Karar verme becerisi

Ölçme ve Değerlendirme

Değerlendirme Yöntemi ve Geçme Kriterleri
Sayısı Yüzde (%)
Toplam (%) 0
  • Kurumsal
  • İsim ve Adres
  • Akademik Takvim
  • Yönetim Kadrosu
  • Kurum Hakkında
  • Akademik Programlar
  • Genel Kabul Şartları
  • Önceki Öğrenmenin Tanınması
  • Kayıt İşlemleri
  • AKTS Kredi Sistemi
  • Akademik Danışmanlık
  • Akademik Programlar
  • Doktora / Sanatta Yeterlik
  • Yüksek Lisans
  • Lisans
  • Önlisans
  • Açık ve Uzaktan Eğitim Sistemi
  • Öğrenci İçin Bilgi
  • Şehirde Yaşam
  • Konaklama
  • Beslenme Olanakları
  • Tıbbi Olanaklar
  • Engelli Öğrenci Olanakları ı
  • Sigorta
  • Maddi Destek
  • Öğrenci İşleri Daire Başkanlığı
  • Öğrenci İçin Bilgi
  • Öğrenim Olanakları
  • Uluslararası Programlar r
  • Değişim Öğrencileri için Pratik Bilgiler
  • Dil Kursları
  • Staj
  • Sosyal Yaşam ve Spor Olanakları
  • Öğrenci Kulüpleri