Akademik Dersler - Tanıtım


Ders Kodu - Ders Adı	MKM422 - Micro/ Nano. Fab. and Char. Mikro/Nano Düz. Ay. Üre. ve Ka)
Ders Türü	Mesleki Seçmeli Dersler
Ders Dili	İngilizce
Teori + Uygulama	3+0
AKTS	5.0
Öğretim Elemanları	DOÇENT ELİF BEGÜM ELÇİOĞLU
Dersin Veriliş Biçimi	Bu ders yüz yüze veya uzaktan eğitim şeklinde yürütülebilir.
Dersin Önkoşulları	Bu dersin ön koşulu ya da eş koşulu bulunmamaktadır.
Önerilen Dersler
Zorunlu ya da Önerilen Kaynaklar
Okuma Listesi	C. Liu, Foundations of MEMS, 2. Baskı, 2012, Pearson Education Limited.
Değerlendirme	1 Ara Sınav, 1 Ödev, 1 Final Sınavı
Staj & Uygulama	Bu ders için uygun değildir.
Sürdürülebilir Kalkınma Amaçları

Haftalar	Konular
1. hafta	Nanomalzemeler ve nanoteknolojiye giriş
2. hafta	MEMS üretim süreçlerinde kullanılan sarf malzemeler (alttaş, rezist, vb.) ve seçim parametreleri
3. hafta	Temiz alan prensipleri, ince film kaplama teknikleri
4. hafta	İnce film kaplama, epitaksiyal büyütme, oksidasyon prosesleri
5. hafta	Mikro ve nano-skalada litografi ile desen oluşturma
6. hafta	Katkılama (doping)
7. hafta	Islak aşındırma
8. hafta	Kuru aşındırma
9. hafta	Pul kesme ve pul birleştirme teknikleri, hassasiyetleri
10. hafta	Pul kesme ve pul birleştirme teknikleri, hassasiyetleri
11. hafta	Karakterizasyon yöntemleri- Görüntüleme, yüzey karakterizasyonu ve ilişkili parametreler
12. hafta	Karakterizasyon yöntemleri- atomik bağlar ve kristal türü belirleme
13. hafta	MEMS üretiminde uygun üretim ve karakterizasyon yöntemlerinin seçiminde faktörler
14. hafta	Örnek MEMS tabanlı aygıtlar, çalışma prensipleri, kullanım alanları

Değerlendirme Yöntemi ve Geçme Kriterleri
	Sayısı	Yüzde (%)
Toplam (%)		0