Akademik Dersler - Tanıtım


Ders Kodu - Ders Adı	İTN522 - Introduction to Micro and Nano Fabri. (Mikro ve Nano Fa. G.)
Ders Türü	Seçmeli Dersler
Ders Dili	İngilizce
Teori + Uygulama	3+0
AKTS	7.5
Öğretim Elemanları	PROFESÖR DOKTOR FERİDUN AY
Dersin Veriliş Biçimi	Yüz yüze
Dersin Önkoşulları	Yok
Önerilen Dersler	Yok
Zorunlu ya da Önerilen Kaynaklar	1) S. Franssila, “Introduction to Microfabrication”, 2nd Ed., Wiley, 2010;2) M.J. Madou, “Fundamentals of Microfabrication: The Science of Miniaturization”, 3rd Ed., CRC Press, 2011;
Okuma Listesi	3) R. C. Jaeger, “Introduction to Microelectronic Fabrication” (Vol. V of the Modular Series on Solid State Devices), 2nd Ed., Prentice Hall, 2002;
Değerlendirme	Bir ara ve bir final sınavı (klasik), ödev, proje ve sunumlar.
Staj & Uygulama	Yok
Sürdürülebilir Kalkınma Amaçları

Haftalar	Konular
1. hafta	Introduction and Motivation
2. hafta	Cleanroom Environment
3. hafta	Safety and Processing Overview
4. hafta	Micrometrology
5. hafta	Materials Characterization
6. hafta	Silicon: Material Properties, Crystal Structure
7. hafta	Silicon: Growth, Wafers
8. hafta	Thin-Film Materials and Processes: Metallic Thin Films, Oxide and Nitride Thin Films
9. hafta	Thin-Film Materials and Processes: Polymer Films, Stresses, Coverage
10. hafta	Pattern Generation and Optical Lithography: Photomasks as Tools, Lithography Process Flow
11. hafta	Pattern Generation and Optical Lithography: Resist Application, Alignment and Overlay, Exposure
12. hafta	Etching: Etching Profiles, Anisotropic Wet Etching, Wet Etching
13. hafta	Etching: Plasma Etching (RIE), Isotropic Dry Etching, Ion Beam Etching
14. hafta	Presentations

Değerlendirme Yöntemi ve Geçme Kriterleri
	Sayısı	Yüzde (%)
Toplam (%)		0