Akademik Dersler - Tanıtım


Ders Kodu - Ders Adı	EEM621 - Nano and Micro-Fabrication Techniques (Nano ve Mikro-Fab. Yö
Ders Türü	Seçmeli Dersler
Ders Dili	İngilizce
Teori + Uygulama	3+0
AKTS	7.5
Öğretim Elemanları	PROFESÖR DOKTOR FERİDUN AY
Dersin Veriliş Biçimi	Yüz yüze
Dersin Önkoşulları	Yok
Önerilen Dersler	Yok
Zorunlu ya da Önerilen Kaynaklar	1) S. Franssila, “Introduction to Microfabrication”, 2nd Ed., Wiley, 2010;2) M.J. Madou, “Fundamentals of Microfabrication: The Science of Miniaturization”, 3rd Ed., CRC Press, 2011;2) S. Wolf and R. N. Tauber, “Silicon Processing for the VLSI Era, Volume 1: Process Technology”, 2nd Ed., Lattice press, 1990;3) R. C. Jaeger, “Introduction to Microelectronic Fabrication” (Vol. V of the Modular Series on Solid State Devices), 2nd Ed., Prentice Hall, 2002;4) S. Wolf, “Microchip Manufacturing”, Lattice Press, 2004.
Okuma Listesi	1) B. G. Streetman “Solid State Electronic Devices”, Prentice-Hall, 2006,2) S.M. Sze, “Semiconductor Devices-Physics and Technology”, Wiley, 1985.
Değerlendirme	Bir ara ve bir final sınavı (klasik), ödev ve sunumlar.
Staj & Uygulama	Yok
Sürdürülebilir Kalkınma Amaçları

Haftalar	Konular
1. hafta	History of Integrated Circuits: Introduction and Motivation
2. hafta	Cleanroom Environment, Safety and Processing Overview
3. hafta	Micrometrology and Materials Characterization
4. hafta	Silicon: Material Properties, Crystal Structure, Growth, Wafers
5. hafta	Silicon: Material Properties, Crystal Structure, Growth, Wafers
6. hafta	Thin-Film Materials and Processes: Metallic Thin Films, Oxide and Nitride Thin Films, Polymer Films, Stresses, Coverage
7. hafta	Advanced Thin Films: Surfaces and Interfaces, Alloys and Doped Films, Multilayer Films, Simulation of Deposition, Thickness Limits of Thin Films
8. hafta	Advanced Thin Films: Surfaces and Interfaces, Alloys and Doped Films, Multilayer Films, Simulation of Deposition, Thickness Limits of Thin Films
9. hafta	Pattern Generation and Optical Lithography: Photomasks as Tools, Lithography Process Flow, Resist Application, Alignment and Overlay, Exposure
10. hafta	Nano and Micro-fabrication Equipment
11. hafta	Nano and Micro-fabrication Equipment
12. hafta	Presentations
13. hafta	Presentations
14. hafta	Presentations

Değerlendirme Yöntemi ve Geçme Kriterleri
	Sayısı	Yüzde (%)
1.Ara Sınav	1	30
Ödev	1	30
Dönem Sonu Sınavı	1	40
Toplam (%)		100